南通艾佩科半导体材料项目开工

时间：2023-11-26来源:全球有机硅网

全球有机硅网11月26日讯：11月21日，南通艾佩科半导体材料有限公司半导体前驱体材料及高纯电子特气生产项目开工仪式在洋口化学工业园区成功举办。根据公告，该项目建成后，年产电子级三氯化硼300吨；年产电子级四氯化钛800吨；年产电子级八氟环丁烷20吨；年产电子级甲基三氯硅烷200吨；年产半导体级三甲基铝2吨；年分装超纯氮气100吨、超纯氩气100吨、超纯氦气15吨、超纯二氧化碳100吨、高纯三氟化氮30吨、超纯氢气5吨；年配制磷烷混合气1000瓶和60罐管束式集装箱、年配制乙硼烷混合气500瓶和30罐管束式集装箱、年配制硅烷混合气2000瓶。

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