时间：2023-03-09来源：全球有机硅网
全球有机硅网3月9日讯：佳能(Canon)推出了提高半导体生产效率的晶圆测量机。该机型能在描绘电路图的曝光工艺之前，以高精度检出晶圆上产生的偏差和变形。这样可以缩短曝光工艺花费的时间，提高成品率。佳能涉足半导体光刻设备，过去一直在设备内设置测量功能，此次首次单独发售测量机。波长范围是原来的1.5倍，能以高精度测出变形。
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