多晶硅安全生产规范再次征求意见

《规范》界定了采用三氯氢硅还原法和硅烷流化床法生产多晶硅的术语和定义，按照三氯氢硅还原法和硅烷流化床法不同工艺流程走向，从硅粉研磨、多晶硅生产、粗品后加工、储存直到尾气处理等逐个工序规定了企业从设计到生产、储存、应急处置环节的安全风险管控要求，同时针对回收硅粉的风险特点，增加了回收硅粉的管理要求。

《规范》强调，企业应建立防腐(磨)蚀、防泄漏管理制度，重点加强对氢气、氯气、硅粉、氯硅烷、硅烷的设备、仪表、管线的泄漏管理，确定检测部位、检测频次和检测方式。定期对涉及硅粉的管线、设备内壁和承插管磨损情况进行检查，根据设备壁厚减薄情况评估防腐效果、核算设备剩余使用寿命。

根据三氯氢硅还原法和硅烷流化床法不同生产方式及涉及的关键装置、重点部位特点，《规范》明确了各工序生产需要监控的工艺参数及报警系统设置，并对安全联锁系统的设置提出了详细的要求；在应急充氮保护方面，提出了三氯氢硅合成炉、还原炉等设备需要配备应急充氮系统，并能实现远程操作的要求；在氯硅烷及硅烷尾气回收和处理方面，提出了事故紧急排放气应设置应急喷淋系统，并与事故紧急排放气管网压力联锁的要求。