合肥高纯电子气体新材料项目公示

时间：2025-02-28来源：全球有机硅网

       全球有机硅网2月28日讯：2月21日，合肥生态环境局发布关于合肥先微半导体材料有限公司《高纯电子气体新材料项目（重新报批）》的受理公示。该项目位于合肥新站高新技术产业开发区珠城西路与通宝路交口西北角，总投资50205.9万元。重新报批后产能为：1、提纯：四氯化硅300吨/年、三氯化硼200吨/年、二氯二氢硅200吨/年、超纯氮300吨/年、超纯氩300吨/年、超纯氦10吨/年、三氟化氮500吨/年、二氧化碳100吨/年、氧气200吨/年、氢气20吨/年；2、混配：磷烷+氢气混合气3000瓶/年、乙硼烷+氢气混合气3000瓶/年、氟气+氮气混合气（1900瓶/年，100台管束车/年）、准分子激光气28000瓶/年；3、分装：二氧化碳10000吨/年、液氮/氮气3000吨/年、液氩/氩气3000吨/年、液氦/氦气50吨/年；4、设备配套：超洁净钢瓶年处理20000只/年。

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