年产5000吨电子特种气体项目投产

时间：2025-05-29来源：全球有机硅网

全球有机硅网5月29日讯：5月22日，位于沧州市临港经济技术开发区的沧州华宇特种气体科技有限公司年产5000吨电子特种气体项目正式投产，生产现场一派繁忙。

“现在，公司各项设备已正常运行，不少客户跟公司签了订单。”该公司总经理徐立勇说，项目投产后，将进一步加速我国电子级硅烷气的国产化替代进程，每年可生产5000吨电子级硅烷气，可实现产值20亿元、税收3.2亿元。电子特种气体被称为“芯片血液”，应用在集成电路制造中的薄膜沉积等环节，是晶圆生产中的关键材料。电子级硅烷气是一种高纯度的电子特种气体。

立足挺进新赛道，2023年1月，沧州华宇特种气体科技有限公司开工建设年产5000吨电子特种气体项目。该项目建设的硅烷气生产装置国产化率达80%，成为全国单套产能最大的硅烷气生产装置。

“项目从开工到竣工只用了17个月，建设速度之快，是我们没有想到的，这得益于各级各部门的大力支持。”徐立勇说，在项目建设过程中，沧州市和渤海新区黄骅市包联领导多次深入项目建设现场，相关部门派人到项目一线，园区每周进行调度，解决项目建设中遇到的问题。