诚展科技取得光刻胶树脂相关专利

时间：2026-08-20来源：全球有机硅网

全球有机硅网8月20日讯：8月19日消息，国家知识产权局信息显示，广东诚展科技股份有限公司申请一项名为“一种有机硅改性干膜光刻胶树脂、其制备方法及应用”的专利，授权公告号CN121378565B，授权公告日为2026年8月18日。申请公布号为CN121378565A，申请号为CN202511627933.8，申请公布日期为2026年8月18日，申请日期为2025年11月7日，发明人杨仁鸿、李志云，专利代理机构北京新中汇知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师赵海良，分类号C08F220/18、G03F7/075、C08F220/06、C08F230/08。

专利摘要显示，本发明属于光致抗蚀剂材料技术领域，特别涉及一种有机硅改性干膜光刻胶树脂、其制备方法及应用，所述有机硅改性碱溶性丙烯酸树脂，是由包括以下单体的原料通过自由基共聚反应制得的共聚物：含羧基烯键式不饱和单体，提供碱溶性；丙烯酸酯类单体，提供成膜性和柔韧性；丙烯酸酯有机硅单体CH2=C（R1）‑C（O）‑O‑（CH2）n‑Si（R2）3，R1代表H或CH3；R2代表甲基或苯基；n为2至6的整数；其中，以共聚物总重量计，所述丙烯酸酯有机硅单体在共聚物中的结构单元含量为0.001wt%至1wt%。通过共聚改性将有机硅链段化学键合到树脂骨架上，解决了物理共混的相容性问题，实现了界面性质的永久性、稳定性改良。

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