高端化学品及集成电路用电子化学品制造关键技术通过鉴定

时间：2025-04-27来源：全球有机硅网

全球有机硅网4月27日讯：4月15日，北京化工大学等多家单位完成的“高端化学品及集成电路用电子化学品制造关键技术研究与应用”项目，在北京通过了中国石油和化学工业联合会(简称“中国石化联”)组织的科技成果鉴定。

据介绍，该项目在多个领域取得了一系列重大创新成果。根据鉴定意见，该项目建立了精馏塔内气液两相流的数学模型，研发了IP型高效填料和导向复合塔板，填料分离效率提高了37.5%～50%，塔板分离效率达到75%～85%；发明了反应除杂技术，利用紫外线光源将四氯化硅中极少量的三氯氢硅反应为四氯化硅，产品纯度达到99.9999999%(9N级)；开发了等离子反应合成技术，实现乙硅烷的定向合成，得到99.99999%(7N级)乙硅烷。

同时，该项目发明了精馏—连续多级逆流分布结晶技术，应用于对二氯苯-邻二氯苯等分离，产品纯度≥99.999%；开发了优化结构的双载体吸附系统，与精馏及其他分离技术耦合，实现对杂质的深度脱除，生产出99.999999%(8N级)四氯硅烷；开发了高效抗杂质渗入技术，实现了电子化学品生产设备的超洁净防护。其中，电子级氢氟酸单个金属离子杂质含量降至5ppt以下，突破G5标准要求。

该项目不仅在科技创新方面屡获突破，在产业化应用领域也收获累累硕果。项目成果已在多家企业获得广泛应用，并生产出百余种产品，取得了显著的经济效益、社会效益和环境效益。

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